Die Isel Germany AG zeigt auf der SPS-Messe in Nürnberg einen Heavy-Duty Dualarm-Roboter für Wafer-Handling
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Die Halbleiterindustrie ist ein ständig wachsender und dynamischer Markt.
In den vergangenen Jahren stieg der weltweite Umsatz der Branche auf über 300 Milliarden US-Dollar.
Die Produktion integrierter Schaltkreise (elektronische Schaltungen aus als Dünnschicht aufgebrachtem Halbleitermaterial mit oft vielen Milliarden elektronischer Komponenten) ist einer der wichtigsten Zweige dieser Branche.
Halbleiterscheiben sind meist sehr klein und immer sehr sensibel.
Nur vollkommen reproduzierbare, mikrometergenaue Bewegungen sind bei der Produktion solcher Teile denkbar. Hinzu kommt eine hohe Geschwindigkeit als Standardanforderung bei einer Serienfertigung. Oft dürfen die Produktionsvorgänge ausschließlich in absolut staubfreien Reinräumen erfolgen, um die Strukturierung der Schaltkreise nicht durch störende Luftpartikel zu gefährden.
Ohne spezielle Roboter sind diese Aufgaben nicht zu lösen.
Der Bereich Robotik der Isel Germany AG spezialisiert sich seit über 10 Jahren auf die Herstellung von Robotern für die Handhabung von Wafern und Substraten.
Diese sogenannten Wafer-Handler sind hochentwickelte Spezialroboter für Produktionsprozesse in der Halbleiterproduktion.
Heavy-Duty Dualarm-Roboter
Auf der SPS-Messe in Nürnberg präsentierte die Isel Germany AG einen besonderen Dualarm-Roboter.
Dieser Super-Heavy-Duty Dualarm-Roboter ist konzipiert, um in Reinraum-Umgebungen Lasten von bis zu 3 Kilogramm pro Arm von A nach B zu bewegen.
In erster Linie ist die Applikation für das im Video dargestellte Panel-Handling gedacht, bei welchem Teile in einer vollständig sauberen Umgebung von einer Kassette zu einem Prozess übergeben werden müssen.
In diesem Fall handelt es sich um eine von einer Spindel angetriebene Linearachse. Die Isel Germany AG hat Applikationen dieser Art auch bereits mit Linearmotoren entwickelt.
Um die Reichweite zu erhöhen, ist der Roboter ebenso auf einer Linearachse positioniert.
Sind mehrere Kassetten nebeneinander platziert, so kann man all diese Kassetten problemlos bedienen.
Die Linearachsen lassen sich bis auf 48 Meter erweitern, was auch sehr große Anlagen technisch realisierbar macht. Der oben montierte Wafer-Handler ist momentan das größte Model in der Isel-Palette.
Thomas Völlinger
Isel Germany AG
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